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Plasmatechnik: Aus der Forschung in die Anwendung

Obwohl Plasmatechniken bereits umfangreich zum Einsatz kommen und großes Interesse an Neueinführungen besteht, gibt es Innovationshemmnisse. Diese liegen häufig darin, daß Verfahren zwar in einem empirisch gefundenen Parameterfenster funktionieren, die Prozesse aber zu wenig verstanden sind um bei Extrapolation auf höhere Raten und Geschwindigkeiten noch sicher zu funktionieren.

Zielführende Prozessanalyse erfordert moderne, autwendige Messverfahren und spezielle Expertise. Expertise und Kenntnis der Forschung und Entwicklung an vorderster Front ist auch notwendig, um das Potential neuer Plasmaverfahren für spezielle Anwendungen zu bewerten und weiterzuentwickeln.

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