ICP Modul

Auf Basis der Entwicklungen des CPST wurde eine Hochleistungsquelle für die Erzeugung von hochdichten induktiv gekoppelten Prozessplasmen entwickelt. Sie ist als plug-in-Modul ausgeführt und kann direkt an einen Plasmarezipienten angeflanscht werden. Der Wirkungsgrad des Moduls ist unübertroffen – es werden mehr als 85% der RF Leistung in Ar-Plasmen eingekoppelt Wegen ihrer herausragenden Eigenschaften haben sich führende Unternehmen im Bereich der Steriltechnik entschlossen, exklusiv unsere Quelle in ihre Anlagen zu integrieren.

3kW ICP-Modul inkl. Matchbox Integration ICP-Modul in eine Industrieanlage

Spezifikationen

• ICP-Modul Leistungsbereich 1-5 kW
• Druckbereich 0.1...40 Pa
• Gasflüsse 1..100 sccm