Expertise

Plasmadiagnostik

Es existiert umfangreiche Expertise bei folgenden Diagnostiken und Monitoringtools

• Langmuirsondenmessungen (Ne, Te, EEDF...)
• Plasmaresonanzsonde (Ne in reaktiven Plasmen)
• Gegenfeldanalysator (IEDF und Ionenflüsse in RF-Plasmen)
• Massenspektrometrie (Analyse der Plasmachemie und Flüsse)
• optische Emissionsspektroksopie (Dichten, Konzentrationen)
• Mie-Ellipsometrie (Partikel in Plasmen)
• TDLAS, FTIR (Konzentrationen)
• weitere spezialisierte Diagnostiken (LIF, TALIF, TIMS, Atmosphärendruck-MS...)

 

 

Plasma Modellierung

Es existiert umfangreiche Expertise bei der Modellierung von Plasmen

• FEM Modellentwicklung
• Bayessche Analyse der Plasmachemie

 

 

Spezielle Expertise

Zusätzlich zu den angebotenen Dienstleistungen, Geräten und Anlagen hat die PAC Plasma Applications Consulting GmbH & Co. KG spezielle Expertise auf den Gebieten (Auswahl):

• Dehnfähige Verschleißschutzschichten auf Metallen wie z.B. Cu, Ni, Edelstahl, Molybdän, Wolfram, NiTi Formgedächtnislegierungen. Es handelt sich in der Regel um sehr dünne Mehrlagen-Schichtsysteme mit einer Deckschicht aus DLC (Diamond-like Carbon).
• Biokompatible Beschichtungen von Metallen
• Abscheidung von Diffusionshemmschichten für Kohlendioxid und Sauerstoff auf Kunststoffen (Verpackungen von Lebensmitteln, Getränkeflaschen)
• Funktionelle Beschichtungen auf Glas z.B. mit variabel einstellbarem Brechungsindex für optische oder dekorative Anwendungen
• Herstellung und Charakterisierung von Nanopartikeln durch Plasma-Polymerisation
• in-situ Prozessdiagnostik hinsichtlich Nano Partikelbildung
• Sterilisation und Dekontamination mit Plasmaprozessen
• Funktionalisierung von Oberflächen
• Ultraschnelle ortsaufgelöste Analyse von High Power Impuls Magnetron Sputtering Prozessen (HIPIMS bzw. HPPMS)